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應用材料公司攜手MEMS制造商開創(chuàng)感知“芯”世界

  MEMS最早應用于汽車和打印機,如今越來越多的消費電子產品采用MEMS傳感器以實現(xiàn)各種智能功能,但同時也對MEMS傳感器提出更高要求:更好的性能、更小的尺寸、更低的成本。由于MEMS產業(yè)的標準化尚未落實,仍然存在“OneProduct,OneProcess”的MEMS定律,這給半導體設備制造商既帶來了巨大的技術挑戰(zhàn),又創(chuàng)造了新的市場商機,并推動MEMS工藝不斷革新?!? 目前,MEMS制造商通過增加產能、采用更大尺寸的晶圓,以及與設計公司合作研發(fā)更小的芯片來降低生產成本。應用材料公司完全了解MEMS傳感器的設計與制造,并采用業(yè)界領先的工藝技術生產MEMS設備,包括深反應離子刻蝕、物理和化學氣相沉積、外延淀積、釋放腐蝕、化學機械研磨等設備。此外,通過與世界領先的科研機構合作,應用材料正努力研發(fā)下一代大批量、低成本的MEMS制造工藝。
  MEMS產業(yè)在中國如火如荼地發(fā)展,眾多IC代工廠和地方政府謀劃布局,新建MEMS生產線。這是應用材料如此貼身中國市場的原因,這里有龐大的客戶群。應用材料擁有遍布全球的服務網(wǎng)絡和支持架構,其深厚的技術專長和最佳的解決方案可持續(xù)滿足MEMS制造商的產能需求。調節(jié)設備參數(shù)、優(yōu)化工藝的效果可以直接在我們位于西安的全球開發(fā)中心最尖端的設備上看到成效。此外,MEMS制造商不僅需要可靠的設備性能,還要確保運營成本獲得改善。應用材料公司提供的解決方案,可提高設備的正常運行時間和工廠效率,可讓制造商專注于芯片制造,同時降低每片晶圓的制造成本?!睋?jù)中國微納技術俱樂部調研,中國涉及MEMS的代工廠主要有:中芯國際、上海先進、華虹-宏力、華潤上華,此外還有蘇州、淄博、上海等地方政府正在搭建MEMS中試平臺。
  過去三十年信息技術經歷了計算時代、通訊時代,當前正步入“感知”時代,傳感器市場呈現(xiàn)爆發(fā)式增長。應用材料公司正努力擴大MEMS設備的產品組合,并提供一套完整的MEMS解決方案(包括MEMS封裝技術,如硅通孔和晶圓級鍵合),以支持各種MEMS傳感器芯片的關鍵工藝研發(fā),攜手MEMS制造商開創(chuàng)感知“芯”世界。