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單晶片CMOS+MEMS技術(shù)為頻率控制市場(chǎng)帶來重要進(jìn)步

　　在標(biāo)準(zhǔn)CMOS芯片上集成高精度振蕩器的夢(mèng)想，已經(jīng)由Silicon Labs公司和他們最新推出的Si50x CMEMS振蕩器系列變?yōu)楝F(xiàn)實(shí)。
　　2010年，Silicon Labs通過收購一家名為Silicon Clocks的公司，獲得了在大批量生產(chǎn)中把MEMS架構(gòu)直接構(gòu)建于標(biāo)準(zhǔn)CMOS晶圓上，實(shí)現(xiàn)完全集成的、高可靠性的“CMOS+MEMS”(又稱CMEMS) 技術(shù)，從而為推出單晶片(single-die)振蕩器解決方案，用以替代工業(yè)、嵌入式和消費(fèi)類電子應(yīng)用中的通用型晶體振蕩器(XO)，以及MEMS和傳統(tǒng)硅振蕩器奠定了基礎(chǔ)。
　　“CMEMS振蕩器具有更小尺寸、更高可靠性、更佳抗老化性以及更高集成度。”Silicon Labs 公司副總裁暨時(shí)序產(chǎn)品總經(jīng)理Mike Petrowski說，“這是頻率控制市場(chǎng)的重要技術(shù)進(jìn)步。通過結(jié)合MEMS和XO兩者的最好特性，我們能夠?yàn)槌杀竞凸氖芟薜那度胧?、工業(yè)和消費(fèi)類電子應(yīng)用提供最佳的通用型振蕩器解決方案?！?br />　　Si50x是首個(gè)采用Silicon Labs CMEMS技術(shù)的產(chǎn)品系列，由于在單晶片上了集成MEMS諧振器和CMOS振蕩器電路，其能夠在CMOS工廠進(jìn)行大批量生產(chǎn)制造，應(yīng)用目標(biāo)則鎖定于數(shù)碼相機(jī)、存儲(chǔ)和內(nèi)存、ATM機(jī)、POS機(jī)和多功能打印機(jī)等領(lǐng)域。
　　中芯國際(SMIC)負(fù)責(zé)Si50x振蕩器的生產(chǎn)制造。Mike Petrowski認(rèn)為，SMIC擁有一流的標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝生產(chǎn)線，支持完整振蕩器系統(tǒng)的晶圓探測(cè)，易于獲得最高級(jí)的質(zhì)量和工藝控制。同時(shí)，由于CMEMS振蕩器是集成的單片IC，配合采用廣泛生產(chǎn)的模塑復(fù)合物4引腳封裝，可再次確?？深A(yù)見和可靠的供應(yīng)鏈。
　　與Silicon Labs所有其他振蕩器產(chǎn)品一樣，Si50x振蕩器可提供網(wǎng)絡(luò)定制的2周樣品交付周期，也可通過Silicon Labs銷售合作伙伴在客戶現(xiàn)場(chǎng)即刻編程。此外，Si50x振蕩器與現(xiàn)有的石英或MEMS振蕩器引腳和封裝兼容，可實(shí)現(xiàn)快速便捷的替換解決方案。
　　Silicon Labs Si501/2/3/4 CMEMS振蕩器現(xiàn)已量產(chǎn)，具有三種工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的4引腳DFN封裝尺寸：2mm×2.5mm、2.5mm×3.2mm和3.2mm×5mm。在一萬顆采購量，Si50x振蕩器單價(jià)為0.44美元起。為了方便CMEMS振蕩器評(píng)估和應(yīng)用開發(fā)，Silicon Labs還提供Si501-2-3-4-EVB評(píng)估套件，價(jià)格為99美元，包括預(yù)編程的Si504器件和適合各封裝尺寸的開放插座，以方便客戶評(píng)估。