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MEMS諧振器-消除激光中的細(xì)微量子波動

　　微機電系統(tǒng)(MEMS)諧振器最近被利用于消除激光中的細(xì)微量子波動，從而可望用于實現(xiàn)新一代超精密的測量儀器。
　　美國加州理工學(xué)院(California Institute of Technology)教授Oskar Painter在實驗室開發(fā)出的這項研究，可說是首次展示由標(biāo)準(zhǔn)硅晶MEMS所產(chǎn)生的“壓縮光”。激光測量技術(shù)可用于實現(xiàn)一些世界上最精確的測量儀器，但是，針對一些最敏感的科學(xué)應(yīng)用時，必須設(shè)法克服原始激光波形中固有的波動。這種稱為“量子波動”的情形會持續(xù)存在，甚至存在激光穿過的真空狀態(tài)。如今，Painter與其他幾位教授們共同研發(fā)出一種硅晶MEMS元件，可將量子波動壓縮出來，產(chǎn)生一種比傳輸于真空狀態(tài)時更純凈的光。相較于普通光，壓縮光具有精確量測的優(yōu)點，而且可在極低電平下實現(xiàn)。此外，由于這種壓縮光是透過硅晶產(chǎn)生的，因而能擴展至具有超敏感固態(tài)感測器的各種應(yīng)用中。
　　自從加州理工學(xué)院教授Kip Thorne和物理學(xué)家Carlton Caves在30多年前預(yù)測壓縮光能實現(xiàn)更靈敏的感測器后，該校一直是壓縮光研究的先驅(qū)。十年后，加州理工學(xué)院教授Jeff Kimble以壓縮光進(jìn)行了一項實驗，為加州理工學(xué)院和麻省理工院(MIT)共同營運的激光干涉引力波天文臺(LIGO)中所用的引力波探測器光提高了激光靈敏度。 在絕緣體上覆硅(SOI)基底制造出來的MEMS諧振器，可耦合至一個能將激光饋送至硅光束間所產(chǎn)生的納米光子空腔的波導(dǎo)。光線在此空腔中來回反射光束，使其得以與傳統(tǒng)量子波動相反的方式產(chǎn)生振動，從而消除量子波動